DXT200气氛型高温探针台
快速实现室温-200℃环境的控温,可在真空环境下对样品进行光学,电学测试,测试中也可实现惰性气体的快速充放。根据样品材料,形状不同可选择探针,插拔等多种安装测试方式。
功能描述:
快速实现室温-200℃环境的控温,可在真空环境下对样品进行光学,电学测试,测试中也可实现惰性气体的快速充放。根据样品材料,形状不同可选择探针,插拔等多种安装测试方式。
气氛型高温腔参数:
①温度范围:室温-200℃;
②标准铂电阻温度计;
③控温精度:±0.1k;
④真空度:10E-3Pa;
⑤提供真空抽口*1、气体入口*1、气体出口*1、真空释放口*1;
⑥匹配观察窗,插拔样品卡,探针卡,鳄鱼夹。