DXT8150 / DXT8050高低温真空探针台
可进行真空环境下的高低温测试（4.2K~500K），可升级加载磁场，低温防辐射屏设计，样品台采用高纯度无氧铜制作，温度均匀性更好，温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置，支持光纤光谱特性测试，兼容高倍率金相显微镜，可微调移动，器件的高频特性(支持最高67GHz频率)，探针热沉设计，LD/LED/PD的光强/波长测试，自动流量控制，材料/器件的IV/CV特性测试等。
产品概述：
可进行真空环境下的高低温测试（4.2K~500K），可升级加载磁场，低温防辐射屏设计，样品台采用高纯度无氧铜制作，温度均匀性更好，温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置，支持光纤光谱特性测试，兼容高倍率金相显微镜，可微调移动，器件的高频特性(支持最高67GHz频率)，探针热沉设计，LD/LED/PD的光强/波长测试，自动流量控制，材料/器件的IV/CV特性测试等。
应用范围：
高低温真空环境下的芯片测试,材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等。
可选附件：
防震桌
多级压缩制冷机
机械泵/分子泵组/离子泵
射频部件
各类型频率真空接头
各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线等…
各类探针夹具
Chuck运动装置
电磁铁系统/超导磁铁系统
1Mpa正压系统
超高温升级选件
超高真空升级选件
| 型号 | DXT8150探针台 | DXT8050探针台 |
| 制冷方式 | 液氦/液氮制冷 | 闭循环制冷机 |
| 腔体材质 | 无磁不锈钢或者铝合金 | |
| 真空度 | 最高真空10-8Pa | |
| 真空腔观察窗尺寸 | 2inch(可选) | |
| 控温范围 | 4.2K-450K | 5K-450K |
| 控温分辨率 | 0.001K控温仪相关 | |
| 温度稳定性 | 0.1K控温仪相关 | |
| 降温时间 | 40min | 150min内， 视制冷机功率定 |
| 温度传感器 | 硅二极管、PT100(3个，样品台和探针臂和防辐射屏上各一个) | |
| 加热电源 | LVDC低压直流 | |
| 样品台材质 | 镀金无氧铜 | |
| 样品台尺寸 | 直径20-50mm，可选100mm | |
| 样品台平整度 | ≤7μm | |
| 样品台固定方式 | 固定的样品台(可升级随位移台移动) | |
| 样品台振动级别 | ≤50纳米 | ≤1um(三级减震) |
| 探针臂数量 | 2个、4个、6个、8个可选 | |
| 探针臂机械精度 | ±12.5mm(可升级±25mm)，精度1um(可选) | |
| 探针种类 | 钨、铍铜、微波探针(可选高达67GHz的GSG探针) | |
| 探针调节 | 真空波纹管外部调节，手动控制 | |
| 放大倍数 | 16~100X/20~4000X | |
| 显微镜行程 | X、Y平面2*2 inch， 精度1um，Z 轴行程≥50.8mm | |
| 电力需求 | 220V 50-60Hz | |
高低温真空探针台选型注意事项：
※最大需要测几inch的晶圆或者器件！是否需要测试破片或者单颗芯片！最小的单颗芯片尺寸！
※探针台机械精度要求多高！
※点测样品的电极尺寸！100μm *100μm或60μm *60μm的pad，还是FIB制作的mini pad，或者ic内部的metal线路！
※最多需要几个探针同时去点测！
※是否会用到探针卡测试！
※光学显微镜的最小分辨率需要用到多少！
※显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测！
※探针点测时，对电流的要求是否达到100fa或者以下！低电容要求是否要做到0.1pf！是否有射频需求！
※接驳的测试仪器接口有哪些！
※测试环境时是否会需要加热或者降温！ 是否需要密闭腔体！
※对chuck的漏电要求怎样！是否需要添加低阻抗chuck！
※是否需要防震桌！
※若添置防震桌，是否有压缩空气！
